是非寸丈量装备 —— 长寸丈量兼容短寸和光刻胶膜厚丈量澳门太阳集团2018网站


SOM255/10

SOM245/10

SOM200系列是非寸丈量装备共同光刻机,用于长寸丈量兼容短寸和光刻胶膜厚丈量。
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● 多功能丈量,长寸丈量同时兼容CD/Overlay丈量及光刻胶膜厚丈量

● 高丈量精度,CD丈量重复性30nm,TP丈量重复性280nm,满意高分辨率光刻的丈量需求

● 高丈量服从,接纳桥式构造,更不变更高速

● 高效的温度控制系统

● 快速灵敏的客制化服务

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 型号

SOM245/10 

 SOM255/10

 CD丈量重复性

 30nm@3Sigma

 30nm@3Sigma

CD丈量复现性

50nm@3Sigma 

 50nm@3Sigma

 TP丈量重复性

 280nm@3Sigma

300nm@3Sigma

 TP丈量复现性

400nm@3Sigma 

450nm@3Sigma