半导体产线搬运机器人 —— 智能片盒运输/搬运


ATR500

APR500

APR500片盒搬运机器人,可主动搬运两个12寸FOUP(兼容8寸片盒),实现端到端全自动搬运。ATR500物料运输机器人,可兼容多种半导体工场物料,在工场差别地区停止运输。机器人设置了多重安全保障功用,特别适用于人机合作情况;多项立异手艺有用提拔机器人利用服从;可按照客制化需求,为用户供给工场搬运团体解决方案。
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● 灵活性高

● 适用于高净化品级厂房

● 运载量大

● 操纵烦琐

● 物料可追溯

● 安全性高

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型号

ATR500 

APR500 

运载容量

12个8寸满载片盒或4个12寸满载FOUP

2个12寸满载FOUP

指导方法

激光智能指导

激光智能指导

挪动速度

 最高1.3 m/s(可设置)

 最高1.3 m/s(可设置)