300系列光刻机 —— LED、MEMS、Power Devices制造


SSB300

SSB320

SSB380

SSB300系列步进投影光刻机面向6英寸以下中小基底先辈光刻应用领域,满意HB-LED、MEMS和Power Devices等范畴单面或双面光刻工艺需求。
太阳集团娱乐所有网站    产物特性

● 高分辨率,分辨率可达0.8μm

● 高速在线MAPPING手艺

● 高精度拼接

● 多尺寸基底自适应切换

● 高产能

● 高精度套刻

● 完善婚配ALIGNER

   次要技术参数
 型号  SSB300  SSB320  SSB380
 分辨率  0.8μm 2μm  1.5μm
 暴光光源  i-line mercury lamp  i-line mercury lamp i-line mercury lamp
 基底尺寸 100/150 mm 100/150 mm 100/150 mm
 工艺使用  撑持LED PAD/PSS工艺 撑持LED PAD工艺 撑持LED PAD工艺

 可选设置

 后背瞄准和可变狭缝(Variable Slit)

 后背瞄准和可变狭缝(Variable Slit)

 后背瞄准和可变狭缝(Variable Slit)