半导体产线搬运机器人 —— 智能片盒运输/搬运


ATR500

APR500

APR500片盒搬运机器人,可主动搬运两个12寸FOUP(兼容8寸片盒),实现端到端全自动搬运。ATR500物料运输机器人,可兼容多种半导体工场物料,在工场差别地区停止运输。机器人设置了多重安全保障功用,特别适用于人机合作情况;多项立异手艺有用提拔机器人利用服从;可按照客制化需求,为用户供给工场搬运团体解决方案。
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● 操纵烦琐

● 适用于高净化品级厂房

● 物料可追溯

● 运载量大

● 安全性高

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 型号  ATR500  APR500
 运载容量  12个8寸满载片盒或4个12寸满载FOUP

二者可兼容

 2个12寸满载FOUP
 指导方法  激光智能指导  激光智能指导

  挪动速度

 最高1.3 m/s(可设置)

最高1.3m/s(可设置)

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